理事長
洪瑞華
現職：國立交通大學電子系 特聘教授
學歷：國立中山大學電機研究所 博士
經歷：
- 國立中興大學精密工程研究所特聘教授 / 2011 ~ 2016
- 國立成功大學光電工程系教授 / 2009 ~ 2011
- 台灣真空學會 副理事長
- 科技部工程司光電學門召集人
| 屆數 | 姓名 | 任期 |
| 1 | 蘇青森 | 1987~1988 |
| 2 | 劉遠中 | 1989~1990 |
| 3 | 劉遠中 | 1991~1992 |
| 4 | 鄭天佐 | 1993~1994 |
| 5 | 蘇炎坤 | 1995~1996 |
| 6 | 李正中 | 1997~1998 |
| 7 | 黃文雄 | 1999~2000 |
| 8 | 陳俊榮 | 2001~2002 |
| 9 | 陳宗欣 | 2003~2004 |
| 10 | 陳建人 | 2005~2006 |
| 11 | 林仕國 | 2007~2008 |
| 12 | 陳錦山 | 2009~2010 |
| 13 | 陳錦山 | 2011~2012 |
| 14 | 熊高鈺 | 2013~2014 |
| 15 | 熊高鈺 | 2014~2015 |