理事長
薛心白
現職：國家同步輻射研究中心 助研究員
學歷：The Pennsylvania State University 博士
經歷：
- 國家同步輻射研究中心 助研究員 /2006- 至今
- 國家同步輻射研究中心 專案副研究員 / 2004 ~ 2005
- 台灣真空學會 第十六屆、第十七屆 副理事長
- 台灣真空學會 第十四屆、第十五屆 秘書長
| 屆數 | 姓名 | 任期 |
| 1 | 蘇青森 | 1987~1988 |
| 2 | 劉遠中 | 1989~1990 |
| 3 | 劉遠中 | 1991~1992 |
| 4 | 鄭天佐 | 1993~1994 |
| 5 | 蘇炎坤 | 1995~1996 |
| 6 | 李正中 | 1997~1998 |
| 7 | 黃文雄 | 1999~2000 |
| 8 | 陳俊榮 | 2001~2002 |
| 9 | 陳宗欣 | 2003~2004 |
| 10 | 陳建人 | 2005~2006 |
| 11 | 林仕國 | 2007~2008 |
| 12 | 陳錦山 | 2009~2010 |
| 13 | 陳錦山 | 2011~2012 |
| 14 | 熊高鈺 | 2013~2014 |
| 15 | 熊高鈺 | 2015~2016 |
| 16 | 洪瑞華 | 2017~2018 |
| 17 | 洪瑞華 | 2019~2020 |