會   士：熊高鈺　研究員 (Mr. Gao-Yu Hsiung)

出生年份：西元1960年

講　　題： 加速器真空系統設計技術問題與疑議

服務單位：財團法人國家同步輻射研究中心

學    歷：

• 碩士, 國立清華大學物理研究所 (1984/06)
• 學士, 國立清華大學物理系 (1982/06)

經　　歷：

․國家同步輻射研究中心研究員(2013迄今)

․國家同步輻射研究中心副研究員(1996)

․國家同步輻射研究中心真空小組小組長(1996/07-2010/06)

․國家同步輻射研究中心助理研究員(1986)

․台灣真空學會理事長(2013-2016)

․台灣真空學會常務理事(2011迄今)

․台灣真空學會理事(1997-2010)

簡　　述：

熊高鈺先生於1986年加入國家同步輻射研究中心真空小組參與籌建我國第一座同步加速器台灣光源(TLS)真空系統設計建造(1988-1993)與試車運轉真空性能檢測、同時進行相關超高真空技術與SIMS表面分析技術研究。1996-2010年期間擔任真空小組長負責TLS真空系統功能提升、新光束線建造與日本高輝度同步加速器光源(SPring-8)兩條專屬台灣光束線BL12XU及BL12B2之前端區建造等計畫，2007-2013年期間負責我國第二座台灣光子源(TPS)真空系統設計建造計畫。個人研究除加速器超高真空系統設計檢測分析外，持續研究同步輻射光子激發釋氣(PSD)現象與加速器真空腔內部濺鍍非蒸發性結拖(NEG)抽氣薄膜之釋氣分析，測量與實驗成果驗證受到國際間加速器界重視並數次獲邀於國際研討會中演講。而近期研究無油酒精加工與臭氧水清洗達到極低表面釋氣率、研發真空腔非圓形無刀口法蘭設計配合鋁合金菱形墊圈密封之專利技術應用、以及第四代先進加速器所需極低阻抗真空腔與元件之設計製造等研究成果，一方面推廣國際加速器研究合作、同時也藉產學合作計畫協助國內真空廠家改善提升設計能力與技術應用。相關研究成果發表於國內外期刊或研討會論文約125篇，中華民國專利證書1件；並數次於國際會議中受邀演講及國外加速器單位邀請諮詢顧問或設計審查。

1986年9月成立真空學會時，熊高鈺先生即加入為個人會員與數年後為永久會員，持續參加國內外真空會議活動。1997年起擔任本學會理事、秘書長、常務理事及第十四、十五屆理事長(2013-2016)，代表學會積極參與IUVSTA國際真空科技應用聯盟組織ECM理事會議與各國代表交流並適時爭取TVS成為正式會員，並成功在台灣主辦IUVSTA之VASSCAA-7真空國際會議(2014)及80th IUVSTA Workshop(2016)真空研討會。本學會(TVS)自2014年起成為IUVSTA在亞澳地區真空國際委員會(VASSCAA-ISC)的正式委員，持續推動與各國真空學會相互交流及推薦邀請講員。學會會務活動的持續推展，包括「真空科技」期刊編審校閱持續發行；舉辦多場真空技術理論與實務操作訓練班研討會；結合本學會真空產學研團體會員開創「台灣真空科技專區」於台北國際光電週、顯示器、半導體展等國際展會中參展宣傳；以及於真空年會中創辦產學研「真空技術暨應用發表會」等。會務推展績優榮獲內政部「105年全國性社會團體公益貢獻獎」之「銀獎團體」及「優良工作人員」等雙重獎項肯定。

會   士：陳錦山 教授

出生年份：西元1955年

講　　題： 綠色工程、材料與真空(Green Engineering, Materials and Vacuum)

服務單位：逢甲大學

學    歷：

• 博士, 美國劍橋大學, 材料科學 1994/07
• 碩士, 國立清華大學,材料科學 1985/06

簡　　述：

陳錦山特聘教授為英國劍橋大學材料科學與冶金博士，名校畢業後，一心返國貢獻所長。任教於逢甲大學材料科學與工程學系近二十六載，專長為微電薄膜製程(Microelectronic Thin-Film Processing)、穿透式電子顯微鏡(Transmission Electron Microscopy)、奈米技術(Nanotechnology)。國際合作成果豐碩，曾獲劍橋大學邱吉爾學院海外院士（Overseas Fellow）、政府補助赴美國伊利諾大學香檳校區進行研究，也曾至俄羅斯托木斯克國立大學進行雙邊研究，並與以色列特拉維夫大學有密切的學術交流。

陳教授近年的研究專注在積體電路後段導線製程，研究計畫績優，研究成果豐碩。銅製程改變了半導體產業的面向與產能價值，金屬化薄膜則鞏固了銅製程的效能，當所有技術微縮到微米/奈米的世界，小小一層薄膜都能影響關鍵技術的成敗，在這些愈做愈小的體積電子元件中，陳錦山教授投入畢生的心血與成就。

陳教授平時生活重心，除了專業學術研究之外，另一項熱愛就是運動，每天徒步或跑步、爬山運動至少二小時、騎自行車已成為生活常態，毅力驚人，相信這也是陳老師保持最佳體能與最佳身心狀況的秘訣。

學術獎勵：

1. 逢甲大學 特聘教授 (2004/08~2015/07)

2. 逢甲大學 終身特聘教授 (2015/08~迄今)

3. 科技部 研究獎勵(迄今2019每年均獲獎勵)

4. 逢甲大學 學術研究傑出獎(2003~2019)

5. 劍橋大學邱吉爾學院 海外院士Overseas Fellow (July 2003 Awarded)

學術領導成果及服務貢獻：

1. 台灣真空學會第十二屆與十三屆兩屆理事長，建立會士(TVS Fellowship)制度；建立「年青學者獎」制度。

2. 舉辦產學合作教育論壇：(a)真空應用於 R&D與分析儀器之最新趨勢研討會( 2012/11/15新竹，台灣真空學會主辦、台灣歐瑞康萊寶真空股份有限公司協辦)。(b)高機能薄膜封裝技術與設備發展研討會( 2013/9/3台南，台灣真空學會主辦、尚科技股份有限公司協辦)。

3. 建立台灣真空學會人才培育訓練班模式， 開授課程例如「真空應用於R&D 與分析儀器之最新趨勢研討會」、「掃描式電子顯微鏡暨顯微結構實務訓練班」、「顯微技術―非鐵金屬金相實務研習班」、「觸控面板製造技術訓練班暨發展趨勢及實務體驗研討會」。

4. Vacuum and Surface Sciences Conference of Asia and Australia (VASSCAA-7)籌備委員(2014年10月5~9日)

5. 真空科技(季刊)總編輯(1999/03~2003/02)

研究成果統計：

發表國際英文期刊論文近100篇，發明專利12件。

經　　歷：

1. 逢甲大學 材料科學與工程學系 特聘教授(2004/08~2015/07)

2. 逢甲大學 材料科學與工程學系 教授(1999/07~2004/07)

3. 逢甲大學 材料科學與工程學系 副教授(1995/02~1999/06)

4. 劍橋大學 材料工程與冶金系 博士後研究員(1994/06~1995/01)

會   士：張翼 教授

出生年份：西元1954年

講　　題：III-V electronics for Logic, THz, and Power applications

服務單位：國立交通大學 副校長室

學　　歷：

• 博士, 美國明尼蘇達大學, 1985/12

• 學士, 國立清華大學, 1977/06

經　　歷：

• 2015/08~迄今      交通大學/副校長
• 2014/08~迄今      交通大學國際半導體產學院/院長
• 2013/05~迄今      交大-台積電聯合發長中心/主任
• 2011/08~2016/02 交通大學/研發長
• 1999~迄今   交通大學材料與工程系/講座教授

簡　　述：

       張教授從事III-V族複合物半導體材料與高頻元件技術多年，學術與產業技術並進，為台灣III-V族高頻微波半導體工業的先驅。在高頻電子元件領域，為世界高頻III-V FET記錄保持人，其中包含開發出最高截止頻率ft >762 GHz之電晶體，為目前世界第一。張教授在III-V族元件、材料、製程研究方面，結合理論與應用面，發展尖端技術；並以學術卓越為基礎，知以致用，進而將其所研究開發之先端技術，應用在科技產業發展。他在複合物半導體技術領域的傑出表現，在國際上更居於領先地位，使他於2013年11月獲得IEEE Fellow，同年亦獲得中華民國材料學會會士。張教授在學術研究及產業應用並重，在學術研究上曾獲科技部三次傑出研究獎，產業應用上獲得經濟部大學產業經濟貢獻獎…等，皆為產學界極高之榮譽。

    張翼教授於1985年由美國明尼蘇達大學材料科學與工程取得博士學位，其後在美國Unisys Corp/ GaAs Component Division與美國Comsat Labs / Microelectronics Division工作。在美國Unisys與COMSAT實驗室工作的七年期間，張教授主要研究國防無線通訊與衛星通訊之砷化鎵元件。在此期間，張教授在砷化鎵MESFET與PHEMT MMIC高頻技術發展上有許多重要且原創性的貢獻，並把相關技術成功地移轉為工業量產技術。

學術獎勵：

1. IEEE Fellow (for contributions to compound semiconductor heterojunction transistor technologies) (102年)。
2. IEEE EDS (國際電機電子協會)：Distinguished Lecturer (榮譽講員) (93年~ present)。
3. 中國材料學會：第五屆「材料會士」 (102年)。
4. 中國電機工程學會：「傑出電機工程教授獎」。(97年)
5. 科技部：97年度「傑出研究獎」 (97年)。
6. 科技部：101年度「傑出研究獎」 (101年)。
7. 科技部：104年度「傑出研究獎」 (104年)。
8. 科技部：100年度「傑出技術轉移貢獻獎」 (100年)。
9. 經濟部：「大學產業經濟貢獻獎」 (96年)。
10. 經濟部：第一屆國家產業創新獎-「產業創新學術獎」 (100 年)
11. 中國電機工程學會：傑出電機工程教授獎 (97年)。
12. 國立交通大學：第一屆「產學技術交流卓越貢獻獎」銀翼獎 (94年)。
13. 國立交通大學：第二屆「產學技術交流卓越貢獻獎」銅羽獎 (95年)。
14. 國立交通大學：第三屆「產學技術交流卓越貢獻獎」金雕獎 (96年)。
15. 國立交通大學：第四屆「產學技術交流卓越貢獻獎」金雕獎 (97年)。
16. 國立交通大學：第五屆「產學技術交流卓越貢獻獎」銅羽獎 (98年)。
17. 國立交通大學：第六屆「產學技術交流卓越貢獻獎」金雕獎 (99年)。
18. 國立交通大學：第七屆「產學技術交流卓越貢獻獎」金雕獎 (100年)。
19. 國立交通大學：第八屆「產學技術交流卓越貢獻獎」金雕獎 (101年)。
20. 國立交通大學：第十一屆「產學技術交流卓越貢獻獎」金雕獎 (104年)。
21. 國立交通大學：第十二屆「產學技術交流卓越貢獻獎」金雕獎 (105年)。
22. 成立交大-台積電半導體聯合研究中心並任中心主任，為國內大學第一個台積電研發中心。
23. 成立NCTU-UC Berkeley跨國頂尖研究中心，並為中心主持人。
24. 成立交大-Panasonic在台聯合研究中心，並為中心主持人。
25. 成立國際頂尖異質整合綠色電子研究中心(I-RICE)，並為中心主持人
26. 推動成立國內第一所全英語授課國際半導體產業學院，並為學院院長，於2015年開始招生。推動與美國UCLA、日本TIT、比利時IMEC (KU Leuven)、印度IIT (Delhi)、印度IIT (Bombay)雙學位學程，為國內第一所與日本TIT及印度IIT (Delhi)、IIT (Bombay)有雙學位學程之學校。

學術領導成果及服務貢獻：

張教授從事複合物半導體研究領域超過三十年，在研究課題上不斷創新，近三十年在複合物半導體電子元件上，研究不同尖端議題，研究結果為世界領先群，多項元件研究成果皆為世界之冠，並與世界級廠商結合，將研發成果應用至先端產品上。近年之研究課題涵蓋(1)三五族高頻元件在次微米波之應用 (合作廠商：Panasonic、穩懋、IQE、Malaysia telecom、優貝克)、(2)III-V/Si整合為下世代後CMOS之應用(合作廠商：Intel、TSMC、Samsung、Entegris)、(3)GaN高頻及高功率元件(合作廠商：Panasonic、TSMC、IMEC、漢民、Veeco、聯鈞、光環、Applied Material)。在這些重要領域，張教授之技術成就皆屬世界領先群。以下列舉張教授近年具代表性之學理及應用技術突破成果：

1. 高頻元件開發：

    在新穎砷化銦高速元件研究上，其目前最高截止頻率(fT)已突破750 GHz以上，最高震盪頻率(fmax)為600 GHz以上，最高截止頻率為世界第一。此結果被Applied Physics Express雜誌選為2013年spotlight (亮點研究)，未來將可應用於高頻通訊及影像雷達與生醫檢測等產品。美國MIT Alamo教授於2013年IEEE EDSSC國際研討會Keynote speech引用交大研究成果列為世界第一，SEMATECH在2014年SSDM會議中亦報導同樣數據。張教授在高頻InAs QWFET之研究，被Semiconductor Today雜誌評選為2009年三五族奈米電子元件最重要兩件成果之一，引起國際半導體學界注意，並陸續受邀至各知名國際會議演講超過40場。張教授在此高速元件研究上，更獲得美國Intel公司的主動邀約，合作研發為期五年的「開發22奈米下世代之新穎元件發展計畫」。更與日本Panasonic及美國Quinstar公司共同簽訂產學合作計畫。

( Edward-Yi Chang, Chien-I Kuo, Heng-Tung Hsu, Che-Yang Chiang, and Yasuyuki Miyamoto, “InAs Thin-Channel High-Electron-Mobility Transistors with Very High Current-Gain Cutoff Frequency for Emerging Submillimeter-Wave Applications,” Appl. Phys. Express 6 (2013) 034001.)

2. III-V/Si邏輯元件：

    研發三五族半導體與高介電常數氧化層整合技術，多項指標皆為世界領先，成功克服Ⅲ-Ⅴ/介電層介面缺陷問題。在Ⅲ-Ⅴ/High-K整合方面，Ⅲ-Ⅴ族FinFET電流密度為世界第一，成果堪稱全球領先，先後與半導體兩大泰斗Intel、TSMC合作，移轉相關技術應用至Ⅲ-Ⅴ FinFET元件以及NCFET元件。在元件之界面缺陷密度、Subthreshold slope、EOT、DIBL皆屬世界最低值，更被受邀至ISTDM 2016 進行plenary talk，演講相關研究成果，成果更被發表於2018 VLSI會議上。此外在InGaAs邏輯元件方面，他所研發之MOS FinFET電流為世界最高，NCFET Subthreshold swing亦為世界最低。此技術為後摩爾時代之重要技術之一，目前執行科技部計畫與UC Berkeley、TSMC合作發展次一世代三五族邏輯元件。相關技術已發表於Applied Physics Express, vol. 7, pp. 041202-1-4, Apr. 2014、IEEE TRANSACTIONS ON ELECTRON DEVICES(TED), VOL.61, NO.8 2014、IEEE Electron Device Letters, vol 36, No 12, December 2015、IEEE Electron Device Letters 39.3 (2018): 339-342、2018 Symposia on VLSI Technology and Circuits.

3. 氮化鎵高頻與高功率元件：

    氮化鎵為繼矽之後最重要之半導體材料，GaN電子元件主要應用在高頻通訊及高功率機電綠能。在這兩方面之應用，張教授之研究成果皆屬國際領先群。尤其在高功率機電元件，其使用鐵電材料製作之增強型HEMT元件，起始電壓已達7.3 V，電流密度730 mA/mm及崩潰電壓1100 V，更超越目前世界著名國際發表之成果。

    張教授為台灣研究氮化鎵功率元件之先驅者，此技術預期未來將廣泛使用於機電inverter、converter 組件上，可大幅提升能源轉換效率。張教授已技轉相關技術至台積電(技轉收入300萬元)、聯鈞等公司。張教授實驗室係採用掘入式閘極技術，並利用PE-ALD系統沉積AlN/Al2O3為閘極介電層，製作出崩潰電壓超過600V之增強型氮化鎵高功率元件；藉由插入AlN介電層，使元件遲滯效應大幅改善，並減緩元件在高電壓切換下導通電阻的增加，確保增強型氮化鎵元件在動態操作下之穩定性。相關技術目前已發表於IEEE ELECTRON DEVICE LETTERS, VOL. 35, NO. 7, pp.732-734, JULY 2017。

會   士：林麗瓊 教授

出生年份：西元1959年

服務單位：國立台灣大學凝態科學研究中心

學　　歷：

• 博士, 美國哈佛大學, 應用物理 1989/08

• 學士, 國立台灣大學, 物理系   1981/ 07

經　　歷：

• 107/03-迄今           台灣國家同步輻射研究中心        董事
• 107/01-迄今           國際物理與應用物理聯盟 International Union of Pure and Applied Physics (IUPAP)                                   結構與凝態動力委員會Member of the Commission on Structure and Dynamics of Condensed Matter

• 106/01-迄今           美國材料學會  Materials Research Society, US 董事 Board of Directors
• 104/07-迄今           World Scientific Publisher     奈米叢書 系列編輯                             Series Editor, book series on Nanoscience and Nanotechnology
• 104/03-107/02      台灣國家同步輻射研究中心        監事
• 102/11-迄今          Cambridge University Press and Materials Research Society                                  能源與永續叢書 編輯顧問Advisory Editor, book series on Energy and Sustainability
• 99/10-迄今            台灣鍍膜科技協會        理事
• 99/01-101/12        國科會自然處物理學門       諮議委員
• 98/11                  Materials Research Society, US     MRS 2009 Fall Meeting Chair
• 96/01-98/12         國科會自然處物理學門       審議委員
• 95/01-98/12         中華民國物理學會        常務理事
• 95/01-96/12         中華民國物理學會        副理事長
• 93/01-迄今          Taylor and Francis        Editorial Advisory Board, Critical Reviews in Solid State and Materials Sciences
• 93/01-95/12        美國真空學會 American Vacuum Society   副編輯                          Associate Editor,J. of Vac. Sci. and Tech. B
• 92/01-94/12       中華民國物理學會        理事

簡　　述：

林麗瓊於1989年在哈佛大學獲得博士學位之後，受聘於美國奇異公司研發總部從事開發高效能引擎與節能環保新發光材料之研究，1994年回台受聘於台大凝態中心主持尖端材料實驗室。林博士的研究領域大多在半導體、光電與能源材料，並著重於利用先進薄膜技術來合成新穎材料與奈米結構，探討其成長機制、微結構與各種物理化學性質的關係，以開發其應用潛能。於奈米結構上，林博士擅長於低維度結構特別是奈米線、奈米尖錐、奈米碳材料等。於節能光電與永續能源領域之基礎與應用研究上，無論是奈米光導元件、燃料電池、太陽能燃料或太陽能電池，林博士擅長於開發碳基之奈米材料與基於物產資源較豐富元素之新穎材料，著重綠色及環保原則，設計暨合成高功能複合式低維結構，使其在催化、光電與量子等基本效應上展現新奇特性並利於永續應用。

學術獎勵：

• 1983年Engineer of the Year, Leonardo da Vinci Award ( Rockwell International )
• 1992年教育部教學特優獎
• 1992--1999年國科會傑出研究獎 (三次)
• 1999年起國科會特約研究員
• 2000年國際電機電子工程學會會士（IEEE Fellow）
• 2000年中國工程師學會傑出工程教授獎
• 2000-2003年傑出人才發展基金會、傑出人才講座
• 2004年教育部學術獎

學術領導成果及服務貢獻：

(1) 奈米線與奈米豆莢:

 林博士團隊自第一篇以化學氣相沈積法成長氮化鎵奈米線發表後(JACS 2001)，在光電半導體奈米線開啟了廣泛而深入的研究，林麗瓊並受邀於全球第一本以奈米線為主題的專書中主筆一篇回顧論文(2003)。以氮化物為例，一維奈米結構具有更優於一般磊晶薄膜之發光特性，其光致導電感應係數超越磊晶薄膜五個數量級，由載子動態測量亦發現其載子生命週期超長，兼具學術前瞻性與應用價值。林博士團隊並首創”微反應器”設計，利用電漿增強化學氣相沉積法製作零維與一維複合式奈米線-“奈米豆莢”(Nature Materials 2006)，其中奈米線是二氧化矽等介電材料，包覆之零維結構則是金奈米顆粒。利用金奈米顆粒在綠光波段有很強的表面電漿共振現象，原本幾乎絕緣的奈米線在綠光照射下其光導大幅度提高，成為具有波長選擇性之光奈米開關。此“奈米豆莢”之合成技術領先全球。

 (2) 矽奈米尖錐陣列:

 林博士實驗室首創利用電子迴旋共振電漿產生奈米晶粒覆蓋於基板上，同步進行自遮蔽式蝕刻，形成超高密度奈米尖錐陣列；此研究獲得美國及中華民國專利各一項。相較於一般蝕刻技術，此法以單一步驟即可形成奈米尖錐，其密度可提高至少兩個數量級，不但能做出目前全球最大面積的抗反射結構，並有其普遍性，矽晶片之外亦適用於其他半導體、絕緣體與金屬基板。此奈米尖錐陣列乃具蛾眼效應之仿生奈米結構，有寬波域與廣視角抗反射的特性，可以有效抑制各種波長的反射光(從紫外光、可見光、紅外光到兆赫波)，並能抑制入射角高達~70度的反射光(Nature Nanotechnology 2007)。本研究於2008年3月應邀於Nature Publishing Group-Asia Materials創刊號重點報導，是台灣首度受邀專訪研究。奈米尖錐應用範圍很廣，除上述抗反射還有場發射顯示器與光電元件、掃瞄式探針、分子檢測、太陽能電池與電化學燃料電池等等，學術價值與應用潛力都非常優越。

 (3)奈米碳管、石墨烯與相關複合系統於低碳氫能源之應用：

 林博士實驗室以微波電漿化學氣相沈積成長奈米碳管陣列之技術已相當純熟，且在碳管上佈上奈米金屬，其催化現象及質子與電子之傳導特性都相當優異，有利電化學能源應用。林博士實驗室並首創直接成長陣列式石墨烯牆，因具有高密度之牆沿提供更多反應介面，加上其特有之應力效應活性大為提高，於燃料電池與感測應用潛力很高，已獲美國及中華民國專利各一項。如何打開石墨烯的能距是當今重要的研究課題，林博士團隊開發出硼與氮共滲雜之三元石墨烯，其能距可提高至600 meV。針對奈米碳材之參雜對其光電與電化學特性之影響，林麗瓊受邀撰寫回顧論文(Progress in Materials Science 2013)，此為材料領域權威性回顧期刊。此外，林博士亦致力開發非貴重金屬之環大錯合物來作為新一代燃料電池之觸媒電極，該團隊發現維他命B12(其核心結構屬環大錯合物)燒結後具有優越的氧化還原反應，此前瞻研究受到相當多的國際注意，在Materials Today與Chemistry World上皆有重點報導。最近林博士團隊更以氧化石墨烯和其相關二維材料及奈米複合結構成功製作出高效能之光觸媒，能於可見光照射下將二氧化碳還原成低碳氫燃料，一石兩鳥解決能源與環境問題。值得一提的是林博士團隊以水熱法製備碳參雜之二硫化錫之奈米結構，其太陽能燃料(Solar Fuels)之量子效益可達0.7％，是目前文獻報導中，二氧化碳還原效率最高的半導體光觸媒(Nature Communication 2018)。

 研究成果統計:

 林麗瓊博士之研究著作質量並重，已發表之SCI論文超過390篇，被引用次數超過13,300次(Web of Science)，近十年內有五篇高被引論文，更有一篇榮列突破性論文(fast breaking paper)＊，迄今h-index = 60。林博士有七項美國專利、六項中華民國專利。於國際學術研討會作邀請演講已逾九十次(含十四次Keynote以及一次Plenary)，於國際著名出版社發行之專書或學刊撰寫回顧論文十五次。

 (＊詳見ESI_FBP之網頁http://esi-topics.com/fbp/2007/august07-Li-ChyongChen.html)

會   士：李建平　教授

出生年份：西元1949年

學　　歷：

• 博士, 美國加州理工學院應用物理, 1978

• 學士, 國立臺灣大學物理系, 1965/09 ~ 1971/06

經　　歷：

• 2010-迄今       交大終生講座教授       
• 2004-2010       交大講座教授       
• 2001-2014       交大奈米科技中心主任        負責科技部國家型奈米核心設施計劃
• 1986-2016       交大電子工程系暨電子研究所教授   
• 1988-1990       國家奈米元件實驗室主任    負責籌建我國第一座半導體奈米元件實驗室
• 1987-1990       交大半導體中心主任   
• 1979-1986．1990-1992  美國洛克威爾國際公司研究員, 經理負責帶領新元件的開發
• 1978-1979       美國貝爾實驗室研究員       
• 1994-1995       IEEE LEOS Taipei Chapter, Chair
• 創建LEOS Taipei Chapter
• 1995-2000 IEEE EDS Taipei Chapter, Vice Chair, Chair

簡　　述：

李教授於加州理工學院攻讀博士期間即做出世界上第一個光電半導體積體電路(OEIC)。並擁有此項技術之專利。如今OEIC已是光通訊系統中相當重要的元件。當時之發明奠定了日後OEIC被廣泛應用的基礎。 畢業後陸續受聘於美國貝爾實驗室及洛克威爾國際公司科學中心。在此期間發現了砷化鎵元件的方向性效應及旁閘極效應及其基本原理。這些發現對整個GaAs IC產業影響深遠。它解決了困擾GaAs IC最嚴重的問題。所提之解決方案並大幅提升了GaAs IC的良率。至今他的發現仍是GaAs IC設計及製造時所奉為圭臬的。李教授的研究成果均發表於國際期刋及國際會議，總計四百餘篇。

學術獎勵：

• 1983年Engineer of the Year, Leonardo da Vinci Award ( Rockwell International )
• 1992年教育部教學特優獎
• 1992--1999年國科會傑出研究獎 (三次)
• 1999年起國科會特約研究員
• 2000年國際電機電子工程學會會士（IEEE Fellow）
• 2000年中國工程師學會傑出工程教授獎
• 2000-2003年傑出人才發展基金會、傑出人才講座
• 2004年教育部學術獎

學術領導成果及服務貢獻：

．在美期間帶領Rockwell研究團隊參與Gigabit Network及Optical Interconnect國家計劃 2．1987 年起任交大半導體中心主任，並建立MBE實驗室 3．1988 年負責籌建國家奈米元件實驗室(NDL)，並任第一任主任 4．1990 年獲教育部頒教學特優獎 5．1994 年創立IEEE LEOS Taipei chapter並任第一任主席 6．1996 年起與烏克蘭基輔大學開始長達十年之合作研究，前後接待四位長期訪問學者 7．.2001年建立交大奈米科技中心推動奈米科技研究並任主任至今 8．2001年建立兆赫波研究實驗室 9．2001年與工研院合作執行奈米人才培訓計劃，為工研院規劃並講授奈米課程 10．2002年帶領交大參與台灣聯合大學奈米研究中心 11．2002年爭取到國科會奈米核心實驗室計劃並設立奈米製程與分析實驗室 12．2002-2005年擔任IEEE Trans Electron Device Editor 13．2005年成立跨校及跨系所半導体奈米結構與量子元件研究團隊，領導七位教授執行 五年五百億分項計劃並擔任奈米電子與系統研究中心共同主持人 14．2006年率領研究團隊獲國科會奈米國家型計劃，執行三年期每年二千萬” Metamaterials Built from Semiconductor Nanostructures” 計劃  15．2006年率兩位Junior faculty members成立半導體量子結構與元件實驗室，合作研究並 分享資源，研究群除三位教授外計有研究生三十餘位及博士後研究員三位 16．2006年與中興大學孫允武教授及NDL合作成立低溫強磁場實驗室 17．2006年起每年主辦奈米科技成果發表會及奈米攝影比賽 18．2008年主辦MBE-Taiwan並任大會主席 19．2010年獲頒教育部國家講座，2011年受聘交通大學終身講座教授。 20．交大任教二十餘年累計畢業博士三十一人，碩士七十餘人，其中九人任教大專院校，七人任教於國立大學

會   士：李正中 教授

出生年份： 西元1946年

學    歷：

• 博士, 美國亞利桑那大學光學中心, 1979/08 ~ 1983/05
• 碩士, 國立成功大學物理研究所, 1971/09 ~ 1974/06
• 學士, 國立成功大學物理系, 1965/09 ~ 1969/06

經　　歷：

1. 院長, 國立中央大學(NCU)理學院, 2010/08 ~ 2016/1/31
2. 所長,國立中央大學光電科學研究所, 1993/08 ~ 1996/07
3. 教授, 國立中央大學(NCU)光電科學研究所, 1991/02 ~ 2006/06
4. 教授, 國立中央大學(NCU)光電科學與工程學系, 2006/07 ~ 2016/01
5. 特聘教授, 國立中央大學, 2005/08 ~ 2009/07
6. 光電 講座教授, 國立中央大學(NCU)光電科學與工程學系, 2009/08 ~ 2016/01
7. 光電系成立籌備主任, 國立中央大學光電科學與工程學系, 2005/04 ~ 2006/07
8. 創辦人與系主任, 國立中央大學光電科學與工程學系, 2006/08 ~ 2009/07
9. 創辦人與主任, 國立中央大學薄膜技術中心, 2004/06~2015/12/31
10. 主任, 國立中央大學(NCU) 中大暨台達電聯合研發中心, 2006/01 ~ 2015/12
11. 代理主任, 國立中央大學(NCU)客家研究中心, 2009/12 ~ 2011/01
12. 籌備主任, 國立中央大學(NCU)聯合研究中心籌備處, 2009/07 ~ 2010/05
13. 主任, 國立中央大學(NCU)聯合研究中心, 2010/05 ~ 2011/01
14. 94年度群組策略規劃07.光電領域召集人, 行政院國家科學委員會(NSC)工程處, 2005/09 ~ 2006/12
15. 光電工程學門召集人, 行政院國家科學委員會(NSC)工程處, 2005/12 ~ 2008/12
16. 客座教授, 雷射物理實驗室,巴黎第13大學, 2009/11~2009/12 & 2010/03~2010/04
17. 上海交通大學State Key Lab of Metal Matrix Composites, Shanhai Jiao Tong University. Guest Professor (2010/8~2011/7)
18. 教授研究員, 日本ULVAC千葉超材料研究所, 2001/06 ~ 2003/06
19. 副研究員, 中山科學研究院光電組, 1983/07 ~ 1991/02
20. 助理研究員, 核能研究所雷射物理組, 1974/08 ~ 1979/07
21. 助教, 國立成功大學物理系, 1970/08 ~ 1974/08
22. 主持人, 教育部影像顯示薄膜與色彩科技人才培育中心, 2004/08 ~ 2008/12
23. 技術團員, 中華衛星一號酬載儀器海洋水色照相儀(OCI)接受日本NEC技術移轉團, 1996/01~1997/06
24. 理事, 中華民國眼鏡光學學會, 1989/12 ~ 1992/12
25. 常務理事, 中華民國光學工程學會, 1989/12 ~ 2001/12
26. 學術委員會主任委員, 中華民國光學工程學會, 1995/12 ~ 1998/12
27. 季刊總編輯, 中華民國光學工程學會, 1995/12 ~ 2001/12
28. 理事長, 中華民國光學工程學會, 2007/01 ~ 2009/12
29. 理事長, 中華民國光電學會, 2010/01 ~ 2013/12
30. 榮譽理事長, 中華民國光電學會, 2014/1 ~ 迄今
31. 常務理事, 中華民國真空科技學會, 1994/12 ~ 2004/12
32. 理事長, 中華民國真空科技學會, 1996/12 ~ 1998/12
33. 榮譽理事長, 台灣真空科技學會, 2005 ~ 迄今
34. 理事, 台灣鍍膜科技協會(TACT, Taiwan Association for Coating and Thin Film ) 2010/01~2016/01
35. 會員, 美國光學學會(OSA), 1993 ~ 迄今
36. 會員, 國際光學工程學會(SPIE), 2003 ~ 迄今
37. 會員, 美國科學促進協會(AAAS), 1997 ~ 迄今
38. 會員, 美國真空鍍膜協會(SVC), 1997 ~ 迄今
39. 會員, 美國材料研究學會(MRS), 2005 ~ 迄今
40. 副會長, 國際光學工程學會(SPIE)台灣分會, 2004/01 ~ 2005/12
41. 會長, 國際光學工程學會(SPIE)台灣分會, 2006/01 ~ 2007/12
42. 副會長, 美國光學學會(OSA)台灣分會, 2007/01 ~ 2009/12
43. 會長, 美國光學學會(OSA)台灣分會, 2010/01 ~ 2011/12
44. 會士(Fellow), 國際光學工程學會(SPIE), 2006
45. 會士(Fellow), 美國光學學會(OSA), 2007
46. 指導教授, 國立中央大學SPIE學生分會, 2005/03 ~ 2015/12
47. 指導教授, 國立中央大學OSA學生分會, 2009/01 ~ 2015/12
48. 遴選委員, Fellows Committee, 國際光學工程學會(SPIE), 2009 & 2010
49. Chair of Fellows Committee, 國際光學工程學會(SPIE), 2011 & 2012
50. Member, OSA Applied Optics Editor-in-Chief Search Committee (2014/1~2014/5)
51. 兼任研究員, 國家實驗研究院儀科中心(ITRC), 2009/07 ~ 2012/06.
52. 特聘研究員, 工研院機械與系統研究所 (2014/9/1~2016/07/31)
53. 顧問, 美商光儀公司(Melles-Griot台灣分公司), 1986 ~ 1993
54. 顧問, Advanced Chips and Products Co., USA, 1998
55. 顧問, DiCon Fiber Optics, Inc., USA, 1999/07
56. 顧問, 工研院光電所Q組, 1999/07 ~ 2000/12、2004 ~ 2005國家同步輻射研究中心/研
57. 顧問, Spectra-Physics Laser, Inc., USA, 2001/08)
58. 顧問, 工研院材料所材料與應用組, 2004/09 ~ 2004/12
59. 專案顧問(94年度影像顯示產業人才培訓計畫), 經濟部工業局, 2005/06 ~ 2005/12
60. 顧問, 工研院電子所, 2005/07 ~ 2005/09
61. 認證委員, 中華工程教育學會工程及科技教育認證委員會(IEET), 2006 ~ 迄今
62. 認證團主席, 中華工程教育學會工程及科技教育認證委員會(IEET), 1996 ~ 迄今
63. 評鑑委員, 財團法人全國認證基金會(TAF),2008 ~ 迄今
64. 評鑑委員, 高等教育評鑑中心基金會(HEEACT), 2008 ~ 迄今
65. 專業委員, 國家實驗研究院指導委員會(NARL), 2009/07/01 ~ 2012/05/31.
66. 諮議委員, 國立中央大學研究中心諮議委員會, 2012/8/1~2016/1/31
67. 審議委員, 國立中央大學講座審議委員會, 2012/8/1~2016/1/31
68. 副主任委員暨指導委員, LED專業人才能力鑑定推動委員會, 2011/07~2012/06

簡　　述：

李正中教授曾擔任台灣真空學會第六屆理事長。他專長，薄膜光學、真空技術、光學薄膜之製鍍及測試、干涉光學、光學工程、光學薄膜與色彩顯示、有機光學膜等，是國內薄膜光學、鍍膜技術研究與教學的先驅，也是國際知名的學者，他對於學會舉辦的活動也相當支持與投入。我首位SPIE教育家獎得主。

研究領域︰

1.奈米薄膜之結構與特殊光電機制研究。

2.分波多工(WDM)干涉濾光片、光纖通訊等之相關鍍膜。

3.塑膠之光學鍍膜。

4.薄膜應力分析及熱傳導分析。

5.光學薄膜之微觀結構及宏觀行為之研究。

6.超紫外光光學薄膜之研究。

7.雷射鏡、太空科技、能量控制、熱鏡、薄膜太陽能電池等等之相關鍍膜。

8.薄膜與人工科技及自然界色彩顯示及照明之研究。

9.有機無機混合膜之研究。

10.有機雷射之研究。

11.疏水與親水鍍膜。

會   士：陳俊榮　教授 (Prof. Chun-Jung Chen)

出生年份：西元1957年

學　　歷：

• 國立清華大學 核子工程研究所 博士學位 1986.12畢業
• 國立清華大學 原子科學研究所 碩士學位1981.06畢業
• 國立清華大學 核子工程系 學士學位 1979.06畢業

經　　歷：

• 國家同步輻射研究中心/研究員 超高真空、加速器元件研發1993至今
• 國家同步輻射研究中心台灣光子源加速器工程分項計畫主持人 設計、建造518m3GeV台灣光子源 2006-2014國家同步輻射研究中心儀器發展組組長 1.5GeV台灣光源功能提升 1995-2006
• 同步輻射研究中心/副研究員 設計、建造台灣光源真空系統 安裝建造120m台灣光源 1987-1993
• 國立清華大學生醫工程與環境科學系(原子科學系)/教授 超高真空研究 1997至今

簡　　述：

陳俊榮教授曾擔任台灣真空學會理事長及秘書長、理事、監事，目前亦是台灣真空學會的常務監事。他平時致力投入真空活動，其中包含:

1. 加速器研發、設計、建造
2. 建造台灣光源(TLS)及功能提升, 120m 1.5 GeV TLS (重點摘要)

    設計TLS超高真空系統、建立超高真空實驗室、研製開發各式真空元件、建立TLS精密定位及測量系統、安裝建造TLS傳輸線、儲存環(亞洲第一座第三代同步輻射光源)、研製光束線元件、建造同步輻射光束線、建立精密機電系統、精密光束偵測系統、大幅提升加速器可靠度及穩定度

1. 建造台灣光子源, 518m 3GeV TPS

    主持TPS加速器工程分項計畫(含真空、磁鐵、精密定位、機電、低溫以及前端區等系統), 建造與安裝大型且極為精密的增能環、傳輸線、儲存環、機電及低溫系統。其中也開發出多項世界頂尖的元件或系統(例如:儲存環超高真空系統、518m微米級精密定位系統、精密溫控系統、低雜訊精密接地系統等等)。

2. 超高真空系統研究
3. 超高真空材料表面釋氣及抽氣行為研究

    在國內自行研製建立多套實驗研究系統(抽氣速率測量、表面熱釋氣率測量、以及FTIR、NRA、PSD、SIMS、TDS、XPS表面分析系統等等)建立多向性的in-situ表面分析方法以及掌控儀器功能確認結果的真實性。研究光子引發釋氣，大幅度降低光子引發釋氣；研究表面熱釋氣率，澄清熱釋氣的多種機制(例如擴散機制)以及發現在鋁合金表面釋新機制；研究極乾燥曝氣方法，在極短時間內系統可以不經烘烤而達到超高真空；研究水氣在真空及表面的行為，以FTIR、NRA、PSD、SIMS、TDS分析鋁合金表面水氣行為，發現真空中水氣的特殊現象，其中多種現象為全球首次發現。

1. 開發多項超高真空元件、建立鋁合金超高真空加工、表面清洗及銲接技術，超高真空鋁合金真空腔、離子幫浦、電子束位置偵測器、光束位置偵測器、特殊接合元件、無油加工技術、超高真空表面處理技術(化學清洗、臭氧水清洗、輝光放電清洗)、極乾燥曝氣方法等等。
2. 多次國際會議(加速器及真空相關)邀請演講及評審。

會   士：李清庭　教授  (Prof. Ching-Ting Lee)

出生年份：西元1949年

學　　歷：

• Carnegie-Mellon Univ. 電機研究所 博士學位(美國) 1979/08~1982/08
• 國立成功大學 電機研究所 碩士學位(中華民國) 1972/08~1974/06

經　　歷：

• 國立成功大學電機系/講座教授(2011/08~迄今)
• 大葉大學講座教授(2011年迄今)
• 國立聯合大學講座教授(2011年迄今)
• 國立成功大學電機系/特聘教授( 2003/08~2011/07)
• 國科會工程處/處長(2010/08~2013/06)
• 台灣真空學會/副理事長(2009/01~2010/12)
• 台灣真空學會/理事(2009/01~迄今)
• 國立成功大學電資學院/院長(2003/08~2009/07
• 國立中央大學光電所教授(1990/08~2003/07)
• 中山科學研究院第三研究所/技監(1989/01~1990/06)

簡　　述：

李清庭教授曾任多任台灣真空學會理事，目前亦是台灣真空學會的理事，他平時致力投入台灣真空學會的相關活動，其中包含: (1)曾任學會之副理事長及國際合作委員會的召集人，協助推動國際真空學會合作事務及英文網頁建置與維護。 (2)每年提供電子束蒸鍍系統、磁控式射頻濺鍍系統與原子層沉積系統給學會，由學會在成功大學所開設之真空訓練課程作為真空教學設備。 (3)於2013年10月25日與26日協助真空學會於成功大學舉辦台灣真空學會2013年度會員大會暨論文發表會，擔任大會籌備主任委員，協助爭取經費、協助招攬廠商進駐年會及規劃年會的整體事務，此次大會為台灣真空學會首次舉辦2天之年會，有產業界、學術界及研究機構等約300人一同參與大會，參與人數為歷年之最。(4)協助真空年會及真空科技期刊之文章審查及徵稿。

會   士：鄭伯昆　教授  (Prof. Poh-Kun Tseng)

出生年份：西元1930年

現　　職：淡江大學物理系教授

學　　歷：

• 美國密西根大學核工系博士(1965-1968)
• 國立台灣大學物理系學士(1950-1954)

經　　歷：

• 國立台灣大學物理系榮譽教授
• 國家同步輻射研究中心顧問(1995)
• 國家同步輻射研究中心技術組組長(1993)
• 國家同步輻射研究中心磁鐵量測小組組長(1986)
• 國家同步輻射研究中心可行性研究小組(1982)
• 國立台灣大學物理系教授(1971-1995)
• 國立台灣大學物理系副教授(1968-1971)
• 國立台灣大學物理系講師(1961-1968)
• 日本原子力研究所研修生(1959-1961)
• 國立台灣大學物理系助教(1958-1959)

簡　　述：

鄭伯昆教授致力於結合政府資源與民間力量共同發展真空科技。1981 年在國家同步輻射研究中心籌建初期即參與「同步輻射可行性研究小組」評估作業；並於1988 年啟動同步加速器建造期間負責加速器磁鐵量測小組培訓年輕技術人才與建立精密量測技術設備；於1993 年同步加速器光源啟用運轉後即擔任技術組組長繼續推動第三代光源插件磁鐵在國內自製之技術能力，並致力於改善光束線真空系統及推廣同步輻射光束線X 光之應用。鄭教授於1990 年加入台灣真空學會個人會員；1993 年加入為永久會員；1996 年當選為本學會第六屆監事。

會   士：張俊彥　教授（Prof. Chun-Yen Chang）

出生年份：西元1937年

學　　歷：

• 國立交通大學電子工程所博士(1970)
• 國立交通大學電子工程所碩士(1962)
• 國立成功大學電機工程學系學士(1960)

經　　歷：

• 國立交通大學終身講座(2012-)
• 國立交通大學校長(1998-2006)
• 國立交通大學電子與資訊研究中心主任(1996-1998)
• 國立交通大學電機資訊學院院長(1994-1995)
• 國立交通大學工學院院長(1990-1994)

簡　　述：

張俊彥院士，自2006 年國立交通大學校長卸任後，成為教育部的終身國家講座教授。張院士獻身於半導體電子之研究逾四十年，不僅成為世界級電子元件及材料專家，其前瞻性之領導國內半導體教研工作，對國內電子工業之近代化尤有重大貢獻。 張院士1964 年負責設立國內第一座半導體研究中心，從構想、籌設至正確領導國內半導體近代化。1990 年成立國家奈米元件實驗室，1960 年起張院士致力於研教工作，曾於台大、清大、成大及交大任教，擔任80 位博士及300 多位碩士論文導師，桃李滿天下。 張院士作育英才無數，所獲得之學術榮譽及獎項甚多，不但獲選為中央研究院院士、美國國家工程院外籍院士(2000-)，同時，張院士為我國最早獲選為美國電機電子工程學會終身會士(Life Fellow, IEEE)。另，亦獲得總統科學獎、日本日經科學獎等殊榮。

會   士：蘇炎坤　教授（Prof. Yan-Kuin Su）

出生年份：西元1948年

現　　任：

• 崑山科技大學校長
• 國立成功大學電機工程學系教授

學    歷：

• 國立成功大學電機學士、碩士、博士

經　　歷：

• SPIE Fellow (國際光學工程學會)
• 崑山科技大學校長
• IEEE Fellow for contributions to optoelectronics and nanophotonics research and education─Institute of Electrical and Electronics Engineers
• 國立成功大學尖端光電科技中心主任
• Chair, TC-4 Nano-optics, Nano-optoelectronics, and Nano-photonics, IEEE Nanotechnology Council
• IEEE Electron Devices Society台灣分會副主席
• 電子材料元件協會理事長
• 國立成功大學教務長
• 行政院國家科學委員會工程技術發展處處長
• 德國Stuttgart 大學物理研究所客座教授
• 美國紐約州立大學（SUNY）Binghamton 校區Adjunct Professor
• 國家科學委員會工程科技推展中心主任
• 國立成功大學電機工程學系暨研究所教授
• 美國南加州大學電機工程研究所訪問研究

會   士：陳力俊　教授（Prof. Lih-Juann Chen）

出生年份：西元1930年

學　　歷：

• 美國倫色列理工學院核工及核子科學系哲學博士
• 國立清華大學原子科學研究所理碩士
• 海軍機械學校造械系工學士

經　　歷：

• 行政院原子能委員政務副主任委員
• 國立清華大學原科院院長
• 國立清華大學原科所教授
• 中華民國核能學會理事長
• 中華民國真空科技學會理事長
• 國立清華大學光電中心主任
• 中華民國光學工程學會理事長
• 行政院國家科學委員會精密儀器發展中心主任
• 美國太空總署馬歇爾太空飛行中心高級研究員

簡　　述：

創立本學會並擔任首屆理事長（1986～1988）。針對工業界與學術界的需求，開辦一系列的真空技術訓練課程，為國內真空科技生根與技術發展奠立厚實基礎，對產業界與學術界貢獻卓越。著有真空技術系列書籍，嘉惠眾多的入門者與使用者，貢獻匪淺。全力奉獻真空及學術研究生涯，指導學生無數，枝葉茂盛，成為廣佈真空技術的種子，是為台灣真空技術發展上最重要之推手，榮膺本學會會士實至名歸。

會   士：蘇青森　教授（Prof. Ching-Shen Su）

出生年份：西元1930年

學　　歷：

• 美國倫色列理工學院核工及核子科學系哲學博士
• 國立清華大學原子科學研究所理碩士
• 海軍機械學校造械系工學士

經　　歷：

• 行政院原子能委員政務副主任委員
• 國立清華大學原科院院長
• 國立清華大學原科所教授
• 中華民國核能學會理事長
• 中華民國真空科技學會理事長
• 國立清華大學光電中心主任
• 中華民國光學工程學會理事長
• 行政院國家科學委員會精密儀器發展中心主任
• 美國太空總署馬歇爾太空飛行中心高級研究員

簡　　述：

創立本學會並擔任首屆理事長（1986～1988）。針對工業界與學術界的需求，開辦一系列的真空技術訓練課程，為國內真空科技生根與技術發展奠立厚實基礎，對產業界與學術界貢獻卓越。著有真空技術系列書籍，嘉惠眾多的入門者與使用者，貢獻匪淺。全力奉獻真空及學術研究生涯，指導學生無數，枝葉茂盛，成為廣佈真空技術的種子，是為台灣真空技術發展上最重要之推手，榮膺本學會會士實至名歸。

會   士：劉遠中　教授（Prof. Yuen-Chung Liu）

出生年月：西元1932年

學　　歷：

• 日本國立東京教育大學博士
• 日本國立東京教育大學碩士
• 台灣大學物理系學士

經　　歷：

• 國立清華大學物理系教授
• 國立清華大學理學院院長
• 國家同步輻射研究中心主任、董事、顧問
• 中華民國物理學會理事長
• 中華民國真空科技學會理事長

簡　　述：

指導國內首座同步加速器之建造與真空物理研究，建立超高真空系統的本土技術能量；將表面物理理論實踐在超高真空技術上，創下國內首度達到不銹鋼真空腔超高真空記錄，並榮獲中山文化基金會1985年度技術發明獎。擔任本學會理事長兩屆期間（1989~1993），對真空科學與技術之深耕與學會事務的推動不遺餘力，對國內真空發展貢獻卓著，殊堪授予本學會會士榮銜。